正型光敏树脂组合物和使用它的半导体装置

摘要

公开了一种正型光敏树脂组合物，它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺，(B)1-100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1-50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1-20重量份具有特定结构式的有机硅化合物，其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置，其中在半导体元件上形成了厚度0.1-20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。∴

主权项

1.一种正型光敏树脂组合物，它包括：(A)100重量份的一种通式(1)表示的聚酰胺：(1)其中X代表四价芳基；Y是二价芳基；Z是以下通式表示的二价基团：其中R₁和R₂代表二价有机基团且R₃和R₄代表一价有机基团；a和b代表摩尔分数；a+b＝100％(摩尔)；a＝60.0-100.0％(摩尔)；b＝0-40.0％(摩尔)；以及n是2-500的一个整数，(B)1-100重量份的一种光敏性重氮醌化合物，以及(C)1-50重量份的选自通式(2)和(3)表示的酚化合物的至少一种成分：其中R₅和R₆代表氢原子或烷基且R₇，R₈，R₉和R₁₀各代表氢原子、羟基或烷基，其中R¹代表氢原子或烷基；以及R²，R³，R⁴，R⁵，R⁶和R⁷各代表氢原子、卤原子、羟基、烷基和脂环基。