发明名称 半导体制造用加热器
摘要 左视图与右视图对称,故省略左视图。
申请公布号 CN3305147D 申请公布日期 2003.07.02
申请号 CN02351026.9 申请日期 2002.10.08
申请人 东京毅力科创株式会社;东芝陶磁股份有限公司 发明人 山贺健一
分类号 23-03 主分类号 23-03
代理机构 北京东方亿思专利代理有限责任公司 代理人 陆锦华
主权项
地址 日本东京都