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经营范围
发明名称
半导体制造用加热器
摘要
左视图与右视图对称,故省略左视图。
申请公布号
CN3305147D
申请公布日期
2003.07.02
申请号
CN02351026.9
申请日期
2002.10.08
申请人
东京毅力科创株式会社;东芝陶磁股份有限公司
发明人
山贺健一
分类号
23-03
主分类号
23-03
代理机构
北京东方亿思专利代理有限责任公司
代理人
陆锦华
主权项
地址
日本东京都
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