发明名称 PLATING SYSTEM WITH REMOTE SECONDARY ANODE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 EP1323186(A2) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP20010941966 申请日期 2001.06.04
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 TRAN, MINH, QUOC
分类号 C25D7/12;C25D21/14;H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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