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发明名称 Capacitive film thickness probe with inductive probe for correction in a control
摘要
申请公布号 EP0918211(B1) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP19980121870 申请日期 1998.11.18
申请人 BIERBAUMER, HANS-PETER DR. H.C. 发明人 BIERBAUMER, HANS-PETER DR. H.C.
分类号 B29C47/92;B29D7/01;G01B7/02;G01B7/06;G01B21/08;(IPC1-7):G01B7/06;G01B121/04;G01B101/50 主分类号 B29C47/92
代理机构 代理人
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