发明名称 光致抗蚀剂组合物
摘要 本发明涉及光致抗蚀剂,揭示一种包含有机酸并具有改善清除特性的光呈像组合物。也揭示增进光呈像组合物清除性的方法,及使用该光呈像组合物制造印刷线路板的方法。
申请公布号 CN1427307A 申请公布日期 2003.07.02
申请号 CN01144640.4 申请日期 2001.12.21
申请人 希普利公司 发明人 T·A·克斯
分类号 G03F7/032 主分类号 G03F7/032
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;彭益群
主权项 1.一种光致抗蚀剂组合物,包括聚合黏合剂、光活性成分、有机酸及视需要的交联剂,其中,有机酸与聚合黏合剂、视需要的交联剂或两者为非聚合性。
地址 美国马萨诸塞州
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