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发明名称 Fast atomic beam source
摘要
申请公布号 EP0790757(B1) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP19970102532 申请日期 1997.02.17
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO;ICHIKI, KATSUNORI;TOMA, YASUSHI;SAITOH, MASAO
分类号 G21K1/00;B81B5/00;G21K5/04;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
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