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发明名称 Photoresist compositions and components
摘要
申请公布号 EP0718693(B1) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP19960102977 申请日期 1987.12.22
申请人 SHIPLEY COMPANY INC. 发明人 DANIELS, BRIAN KENNETH;MADOUX, DAVID CHARLES;TEMPLETON, MICHAEL KARPOVICH;TREFONAS III, PETER;WOODBREY, JAMES CALVIN;ZAMPANI, ANTHONY
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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