在高产量反应器内之复合式基板加工系统及方法

摘要

一种供基板处理系统用之晶圆感受器，包含形成至少一凹部于其中，各个凹部系配置且组态成可夹持至少一片基板于其中，其中晶圆夹持器与至少一基板的组合形成一种具有一致处理特性之复合基板。