形成导电层之方法,由该方法形成之导电层,及含有该层之材料

摘要

本发明揭示一种透明导电层形成方法，其包括下列步骤：将反应性气体导入放电空间，于大气压或约大气压下藉由放电将反应性气体激发成电浆状态，及使基材曝露于电浆状态之反应性气体下，以于该基材上形成透明导电层，其中该反应性气体系包含还原性气体。