| 摘要 |
用于电镀基板的方法与设备，其中该设备包含一中心基板传送密封体，其具有至少一基板传送机械手臂定位于其中。提供有一与基板传送密封件相通之基板作动室，该室系可以为至少一基板传送机械手臂所进入。提供有一与基板传送密封件相通的电镀室，该室系可为至少一基板传送机械手臂所进入。提供有一与基板传送密封件相通之基板喷洗式旋乾室，该室系至少为一基板传送机械手臂所进入，及提供有一与基板传送密封件相通之回火室，该室系为至少一基板传送机械手臂所进入。同时也提供至少一与基板传送室相通之基板箱装载器，其系可为至少一基板传送机械手臂所进入。 |
