发明名称 液晶显示装置及制造薄膜电晶体之方法
摘要 一种液晶显示装置(LCD),包含:一对透明绝缘基板(dielectric substrate);夹于第一和第二透明绝缘基板之间的液晶;一个依覆盖在该第一绝缘基板方式形成的薄膜电晶体(TFT);一个由非感光性树脂制成的第一绝缘膜(dielectric film);以及一个由感光树脂制成且覆盖于每一个该穿孔内壁上的第二绝缘膜(dielectric film),因为具有平滑形状的第二绝缘膜而提高了液晶显示装置的产值及可靠度。
申请公布号 TW539887 申请公布日期 2003.07.01
申请号 TW089107446 申请日期 2000.04.20
申请人 电气股份有限公司 发明人 吉川周宪;渡边贵彦;井原 浩史;中田慎一;冈本 守;山本勇司;本道昭
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种液晶显示装置,包括:第一和第二透明面板;以及夹于第一和第二透明面板之间的液晶,该第一透明面板包含:一个绝缘基板(dielectricsubstrate);许多配置于覆盖在该绝缘基板上之矩阵内的画素元件,其中每一个画素元件都含有一个薄膜电晶体,一个附属的画素电极,以及盖住该薄膜电晶体且含有一个用于该薄膜电晶体之穿孔的第一和第二绝缘膜(dielectric film);许多信号线,其中每一个信号线都是连接到各画素元件之对应行内的源极上;以及一些经由各穿孔连接到各画素电极上的汲极,该第一介电膜是由非感光性树脂制成的,而该第二绝缘膜是由感光性树脂制成的且覆盖于每一个该穿孔的内壁上。2.如申请专利范围第1项之液晶显示装置,其中该第一绝缘膜是一种彩色滤镜而该第二绝缘膜是一种透明外罩。3.如申请专利范围第1项之液晶显示装置,其中该第一和第二绝缘膜两都是一种由透明树脂制成的内夹层。4.如申请专利范围第1项之液晶显示装置,其中该第一和第二绝缘膜的厚度都是3微米或更大。5.一种用来制造液晶显示装置内所用薄膜电晶体面板的方法,包含下列步骤:形成一个覆盖于第一透明绝缘基板上的薄膜电晶体;形成一个覆盖于薄膜电晶体上的非感光性第一绝缘膜;于该第一绝缘膜上形成一个感光性第二绝缘膜;藉由利用一个光罩使该第二绝缘膜曝露在光中以形成一个晶圆;将晶圆浸渍于显影用之硷性显影剂中;曝露出该晶圆以施行曝光;在比第二绝缘膜的玻璃相变点更高的温度下对第二绝缘膜进行加热;以及形成一个画素电极而覆盖住该第二绝缘膜。6.如申请专利范围第5项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中该薄膜电晶体的形成步骤包含下列步骤;藉由微影印刷图案制作程序于第一透明绝缘膜上形成一个金属膜;形成一些扫瞄线,一些闸极,和一些共同电极;于共同电极的整个表面上形成一个扮演着闸极绝缘膜角色的氮化矽膜;藉由连续地形成未搀杂的非晶矽以及搀杂的非晶矽于该闸极绝缘膜上以便制作一具有图案之半导体层;藉由形成氮化矽膜并制作成图案而形成一个被动层。7.如申请专利范围第5项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中该第一绝缘膜的形成步骤包含下列步骤:施加非感光性的树脂以形成一个具有特定厚度的第一绝缘膜;藉由对非感光性的树脂进行加热而形成一个呈半固化状态的彩色滤镱;该第一绝缘膜的形成步骤包含的步骤有:将具有感光性而透明的树脂加到彩色滤镜上;以及藉由对具有感光性而透明的树脂进行加热而形成一个外罩。8.如申请专利范围第7项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中对该具有感光性而透明的树脂进行加热的温度是比对非感光性的树脂进行加热的温度更低。9.如申请专利范围第5项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中在已对该第二绝缘膜进行加热之后,于对该第二绝缘膜进行加热的步骤期间对该第二绝缘膜以及落在该第二绝缘膜底下的各层施行蚀刻。10.如申请专利范围第5项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中该第一绝缘膜的形成步骤包含下列步骤:形成由非感光性透明树脂制成的第一内夹绝缘膜;以及于该第一内夹绝缘膜形成由感光性透明树脂制成的第二内夹绝缘膜。11.如申请专利范围第10项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中在形成第二内夹绝缘膜之后,对该第二绝缘膜以及落在该第二绝缘膜底下的各层施行蚀刻。12.如申请专利范围第9项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中也包括藉由形成氮化矽膜并制作成图案而形成一个被动层以及蚀刻该被动层的步骤。13.如申请专利范围第11项之用来制造薄膜电晶体面板的方法,其中也包括藉由形成氮化矽膜并制作成图案而形成一个被动层以及蚀刻该被动层的步骤。图式简单说明:第1图系用以显示一种习知LCD实例的俯视平面图。第2图系用以显示第1图中习知LCD沿A-A'线段而取的截面图示。第3A-3E图系用以显示用来制造如第1图所示之LCD之方法的简略截面图示。第4图系用以显示另一种习知LCD实例的俯视平面图。第5图系用以显示第4图中习知LCD沿A-A'线段而取的截面图示。第6图系用以显示根据本发明第一实施例之LCD的俯视平面图。第7图系用以显示第6图中习知LCD沿A-A'线段而取的截面图示。第8图系用以显示第6图中习知LCD沿B-B'线段而取的截面图示。第9A-9E图系用以显示用来制造如第6图所示之LCD之方法的简略截面图示。第10图系用以显示根据本发明第三实施例之LCD的俯视平面图。第11图系用以显示第10图中习知LCD沿A-A'线段而取的截面图示。第12图系用以显示第10图中习知LCD沿A-A'线段而取的截面图示。
地址 日本
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