| 主权项 |
1.一种多槽式晶圆清洗机,包含有:一晶舟,供复数晶圆依序置放;数清洗槽,各供任一晶圆置入清洗;及一自动取送装置,具有一第一手臂及一第二手臂,该第一、二手臂皆为可自由转动及伸缩之多节式机械手臂,且该第一、二手臂之末端各装设有一吸取构件,该第一手臂之吸取构件可伸置入该晶舟内吸取其中一晶圆,并将该晶圆取出放置其中一清洗槽内进行清洗,而该第二手臂之吸取构件则可伸至其中一清洗槽处,将该清洗乾净之晶圆吸取出,再放回该晶舟内。2.依据申请专利范围第1项所述之多槽式晶圆清洗机,更包含有一归整工作站,供晶圆清洗前及清洗后归整用,且该归整工作站具有具有一由上往下渐次倾斜收束之环型斜面,以供任一晶圆由该环型斜面上方置入,再滑移至底部定位。3.依据申请专利范围第1项所述之多槽式晶圆清洗机,其中该自动取送装置更具有一可自动升降及旋转之平台,且该第一、二手臂设置在该平台上。图式简单说明:第一图是习用晶圆清洗机之立体示意图;第二图是上述习用晶圆清洗机之顶视图;第三图是本创作多槽式晶圆清洗机之一较佳实施例的顶面示意图;第四图是该较佳实施例之正面示意图;第五图是该较佳实施例之动作示意图,说明一第一手臂伸置入一晶舟内吸取一晶圆之状态;第六图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第一手臂将该晶圆置入一归整工作站内之状态;第七图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第一手臂将该归整后晶圆放置入一第一清洗槽内之状态;第八图是该第七图之正面示意图;第九图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第一手臂将另一晶圆置入一第二清洗槽内之状态;第十图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第一手臂再吸附又一个晶圆后等待,且一第二手臂伸至该第一清洗槽处吸取该清洗后晶圆之状态;第十一图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第二手臂将该清洗后晶圆置入该归整工作站内之状态;第十二图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第二手臂将该清洗且归整后晶圆放回该晶舟之状态;及第十三图是该较佳实施例之动作示意图,说明该第二手臂伸至该第二清洗槽处吸取出该清洗后晶圆,且该第一手臂将又一个晶圆置入该第二清洗槽内之状态。 |
