| 主权项 |
1.一种晶圆表面检测机构,主要包括:灯源切换盒、监视器、控制板及旋转架;其中该灯源切换盒内系设有各具复数支二种不同波长之萤光灯,一种萤光灯系设成固定,且连接预热电路,另一种则与旋转臂连结,形成可伸缩收藏之活动式萤光灯,且盒面设有一扩散板,盒内设有中间隔板,板上具有活动栅门,其系供活动式萤光灯置入时遮蔽;藉此,使制成之晶圆放置于旋转架上,透过控制板之控制以旋转调整晶圆角度,令晶圆可受二种不同灯源快速切换照射检测者。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆表面检测机构,其中该灯源切换盒内之活动式萤光灯系设为常亮者。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆表面检测机构,其中该灯源切换盒系设于控制板上方,该旋转架系设于控制板上,该监视器则设于方便人眼观看处。4.如申请专利范围第3项所述之晶圆表面检测机构,其中该检测机构系设置二灯源切换盒,该二灯源切换盒系相互邻接垂设者。图式简单说明:第1图系本创作实施例立体图。第2图系本创作灯源切换盒之立体外观图。第3图系本创作灯源盒体之切换作动剖面示意图。第4图系本创作第二实施例之检测使用示意图。 |
