| 主权项 |
1.一种装置管理方法,其特征为:具有催促将非运转中之装置之非运转状况加以分类之类别资讯之输入之步骤,以及催促将非运转中之装置之非运转状况加以特定化之非运转资讯之输入之步骤,以及针对上述类别资讯将上述非运转资讯赋予关联性并收纳于记忆手段之步骤。2.如申请专利范围第1项之装置管理方法,其中,系针对上述类别资讯之输入加以应答,并允许上述非运转资讯之收纳于上述记忆手段,或是上述非运转资讯之输入。3.如申请专利范围第1项之装置管理方法,其中,上述非运转状况为装置之故障,以及维护,以及改造当中之一。4.如申请专利范围第1项之装置管理方法,其中,收纳于上述记忆手段之类别资讯具有多数,而这些多数之类别资讯具有多数之阶层,而这些多数之类别资讯系与互为不同阶层之类别资讯相连结来被加以收纳。5.如申请专利范围第1项之装置管理方法,其中,上述装置具有多数,并于上述类别资讯之输入步骤中,催促将某装置与其他装置加以识别之装置识别资讯之输入。6.一种装置管理方法,其特征为:具有催促将非运转中之装置之非运转状况加以分类之类别资讯,与非运转中之装置之非运转资讯中之至少一项之输入之步骤,以及从预先记忆了将非运转中之装置之非运转状况加以分类之类别资讯与非运转中之装置之非运转资讯之记忆手段中,将与上述被输入之资讯相连结之关联资讯加以抽出之步骤,以及显示上述关联资讯之步骤。7.如申请专利范围第6项之装置管理方法,其中,收纳于上述记忆手段之类别资讯具有多数,而这些多数之类别资讯具有多数之阶层,而这些多数之类别资讯系与互为不同阶层之类别资讯相连结来被加以收纳。8.如申请专利范围第6项之装置管理方法,其中,上述装置管理方法更具有基于上述关联资讯进行统计分析并算出统计分析结果之步骤,以及将上述统计分析结果加以显示之步骤。9.如申请专利范围第8项之装置管理方法,其中,上述装置具有多数,前于上述类别资讯之输入步骤中,催促显示上述装置之类别之装置类别资讯之输入,而于上述统计分析结果之算出步骤中,于每个上述装置类别资讯中做为统计分析结果,至少将非运转时间及非运转件数之统计分析当中之一项加以算出。10.如申请专利范围第8项之装置管理方法,其中,上述装置具有多数,并于上述类别资讯中,至少包含故障现象及故障原因当中之一项,而于上述统计分析结果之算出步骤中,于每个上述故障现象及/或故障原因中做为统计分析结果,至少将故障时间及故障件数当中之一项加以算出。11.如申请专利范围第8项之装置管理方法,其中,上述装置具有多数,于上述记忆手段中,将某装置与其他装置加以识别之装置识别资讯,以及与此装置识别资讯具有连结并将该装置之非运转状态加以停止之停止担任者,以与上述非运转资讯具有连结之方式被加以收纳。12.一种装置管理方法,其特征为:具有显示包含装置之点检项目之点检项目显示画面,并催促藉由数値将各个点检项目之点检状况加以特定化之点检状况値之输入之步骤,以及将被输入之上述点检状况値收纳于记忆手段之步骤,以及基于上述点检状况値进行统计分析之步骤,以及将上述统计分析之处理结果加以显示之步骤。13.如申请专利范围第12项之装置管理方法,其中,上述统计分析为算出关于同一点检项目中之上述点检状况値之数値推移之趋势。14.如申请专利范围第13项之装置管理方法,其中,上述点检状况値之数値推移之趋势系藉由,上述多数之点检时期中之上述点检状况値之变异数,以及上升/下降之程度,以及变异数之连续性当中之至少一项来显示。15.如申请专利范围第12项之装置管理方法,其中,于上述统计分析结果之算出步骤之后,具有针对关于上述统计分析结果是否满足所定条件加以判定之步骤,而显示上述统计分析结果之步骤更具有,于判定未满足上述所定条件之情况下发出警告之步骤。16.如申请专利范围第15项之装置管理方法,其中,上述警告系藉由,于被显示之上述统计分析结果及/或上述判定结果当中,藉由将未满足所定条件之结果与满足条件之结果以不同颜色显示来加以实行。17.如申请专利范围第12项之装置管理方法,其中,于上述点检项目中各自收纳了预先与记忆手段相连结之点检担任者,而关于收纳于上述记忆手段之装置之上述点检状况値于所定之期间仍末被输入之情况下,于上述装置管理方法更具有,催促该点检项目之点检担任者进行点检状况値之输入之警告之步骤。18.如申请专利范围第1至17项之任一项之装置管理方法,其中,上述装置为半导体制造装置。19.一种装置管理系统,其特征为:具有将非运转中之装置之非运转状况加以分类之类别资讯与将该非运转中之装置之非运转状况加以特定化之非运转资讯赋予关联性并加以收纳之记忆手段,以及催促提出多数之上述类别资讯并选择至少一项之类别资讯之手段,以及针对上述类别资讯之选择加以应答,并允许上述非运转资讯之收纳于上述记忆手段,或是上述非运转资讯之输入之手段,并将上述被写入之非运转资讯与上述被选择之类别资讯赋予关联性并收纳于上述记忆手段。20.如申请专利范围第19项之装置管理系统,其中,上述系统更具有,针对非运转资讯之检索要求加以应答并要求用于类别资讯或是检索之关键字之输入之检索条件要求手段,以及将与上述类别资讯具有关联性之上述非运转资讯或是包含上述关键字之上述非运转资讯,从上述记忆手段加以读出并输出之输出手段。21.如申请专利范围第20项之装置管理系统,其中,上述系统更具有,基于上述类别资讯进行统计分析并算出统计分析结果之统计分析手段,而上述输出手段将上述统计分析结果加以输出。22.一种装置管理系统,其特征为:具有将装置之点检项目与藉由数値将该点检项目之点检状况加以特定化之点检状况値,赋予连结并加以记忆之记忆手段,以及针对上述各点检项目基于与多数时期相关之各自之上述点检状况値进行统计分析之进行统计分析手段,以及输出上述统计分析之处理结果之输出手段。23.如申请专利范围第22项之装置管理系统,其中,上述点检项目与点检担任者具有连结,而上述装置管理系统更具有,与收纳于上述记忆手段之某装置相关之上述点检状况値于经过所定之时间之后仍未被输入之情况下,催促该点检项目之点检担任者进行点检状况値之输入之警告之通知手段。24.一种记录装置管理程式之电脑可读取之记录媒体,为将装置管理程式加以记录之记录媒体,其系为了实现,将非运转中之装置之非运转状况加以分类之类别资讯与将该非运转中之装置之非运转状况加以特定化之非运转资讯赋予关联性并加以收纳之步骤,以及催促提出多数之上述类别资讯并选择至少一项之类别资讯之步骤,以及针对上述类别资讯之选择加以应答,并允许上述非运转资讯之收纳于上述记忆手段,或是上述非运转资讯之输入之步骤,以及将上述被写入之非运转资讯与上述被选择之类别资讯赋予关联性并收纳于上述记忆手段之步骤。25.一种记录装置管理程式之电脑可读取之记录媒体,为将装置管理程式加以记录之记录媒体,其系为了实现,将装置之点检项目与藉由数値将该点检项目之点检状况加以特定化之点检状况値,赋予连结并加以记忆之步骤,以及针对上述各点检项目基于与多数时期相关之各自之上述点检状况値进行统计分析之步骤,以及输出上述统计分析之处理结果之步骤。图式简单说明:第1图系显示本发明之第1实施形态之装置管理系统之全体构成之网路构成图。第2图系显示同实施形态之伺服器之全体构成之图示。第3图系显示同实施形态之非运转状况登录方法之顺序图。第4图系显示于选择故障履历之情况下之非运转状况登录画面之一例之图示。第5图系显示同实施形态之非运转状况检索方法之顺序图。第6图系显示于选择故障履历之情况下之非运转状况检索画面之一例之图示。第7图系显示分析结果显示画面之例子之图示。第8图系显示分析结果显示画面之例子之图示。第9图系显示同实施形态之装置点检资料之登录方法之顺序图。第10图系显示本发明之第2实施形态之点检计划表之登录画面之一例之图示。第11图系显示同实施形态之点检计划表之显示画面之一例之图示。 |
