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发明名称
摘要
申请公布号 JP3421465(B2) 申请公布日期 2003.06.30
申请号 JP19950056533 申请日期 1995.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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