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发明名称 VAPORISER/DELIVERY VESSEL FOR VOLATILE/THERMALLY SENSITIVE SOLID AND LIQUID COMPOUNDS
摘要
申请公布号 AU2002352849(A1) 申请公布日期 2003.06.30
申请号 AU20020352849 申请日期 2002.11.21
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 MATTHEW, B. DONATUCCI;LUPING WANG;JAMES MAYER
分类号 C23C16/448;H01L21/02;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/24;C23C16/00 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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