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<p>Beschrieben wird eine Linsenanordnung mit lateral verschiebbarer optischer Achse für Teilchenstrahlen, insbesondere zur Übertragung von Bereichen einer Gegenstandsebene in die Bildebene mittels Elektronen, mit einer kombinierten Linse, welche aus einer Zylinderlinse und einer Quadrupollinse besteht, die mit elektrischen und/oder magnetischen Feldern beaufschlagbare Schlitzblenden aufweisen. Dabei ist die optische Achse der Quadrupollinse parallel zur Achse der Zylinderlinse orientiert und definiert die optische Achse der Abbildung, wobei deren Position relativ zur Achse der Zylinderlinse änderbar ist. Die Fokussierung der Quadrupollinse erfolgt in dem Schnitt, in welchem die Zylinderlinse ohne Fokussierung ist, und die Defokussierung der Quadrupollinse in dem Schnitt, in welchem die Zylinderlinse fokussiert. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, dass die kombinierte Linse als Immersionslinse zur Abbildung von Sekundärelektronen betreibbar ist, das Immersionsfeld in axialer Richtung aus wenigstens zwei aneinunder angrenzenden Feldern besteht, wobei das erste Feld zwischen Objekt und erster Schlitzblende, das zweite Feld zwischen erster und zweiter Schlitzblende anliegt und beide Felder unabhängig von einander einstellbar sind. Gemäss Vorschlag wird weiterhin die Potentialdifferenz zwischen Objekt und erster Blende relativ zu der zwischen erster und zweiter Blende vergleichsweise klein und der Potentialverlauf zwischen Objekt und erster Blende näherungsweise linear vorgegeben. Die fokussierende/defokussierende Wirkung der kombinierten Linse ergibt sich aus der Überlagerung des Immersionsfeldes, des Zylinderlinsenfeldes und des Quadrupolfeldes. Eine Variante der vorgeschlagenen Linsenanordnung ist zum Einsatz als Kathodenlinse für eine Photokathode mit mehreren gleichartigen, nebeneinanderliegenden Emissionsbereichen vorgesehen.</p> |
