发明名称 Brausekopf
摘要
申请公布号 DE19826590(C2) 申请公布日期 2003.06.26
申请号 DE19981026590 申请日期 1998.06.15
申请人 TRIKON EQUIPMENTS LTD., NEWPORT 发明人 CARTER, STEPHEN
分类号 B05B1/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/44;B01J19/00 主分类号 B05B1/14
代理机构 代理人
主权项
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