| 发明名称 |
Beschichtungs-Vorrichtung und Verfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69814710(D1) |
申请公布日期 |
2003.06.26 |
| 申请号 |
DE19986014710 |
申请日期 |
1998.02.28 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
FUJIMOTO, AKIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B05C11/10;B05B9/04 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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