Feuchtigkeitspassivierter planarer indexgeführter VCSEL

摘要

Es werden Systeme und Verfahren zum Passivieren von planaren indexgeführten Oxid-Vertikalresonatoroberflächenemissionslasern (VCSELs) beschrieben. Diese Systeme und Verfahren nehmen sich der ungewöhnlichen Anfälligkeit dieser Vorrichtungen für Schäden an, die ansonsten durch ein Eindringen von Feuchtigkeit in die Ätzlöcher verursacht werden könnten. Bei einem Aspekt umfaßt ein VCSEL eine vertikale Stapelstruktur, die eine im wesentlichen planare obere Oberfläche aufweist. Die vertikale Stapelstruktur umfaßt einen oberen Spiegel, einen unteren Spiegel und eine Resonatorregion, die zwischen dem oberen Spiegel und dem unteren Spiegel angeordnet ist und eine aktive Lichterzeugungsregion umfaßt. Mindestens entweder der obere Spiegel oder der untere Spiegel weist eine Schicht mit einer peripheren Region auf, die infolge einer Kontaktierung mit einem Oxidationsmittel zu einem elektrischen Isolator oxidiert ist. Die vertikale Stapelstruktur definiert zwei oder mehrere geätzte Löcher, die sich jeweils von der im wesentlichen planeren oberen Oberfläche zu der oxidierten peripheren Region erstrecken. Jedes der geätzten Löcher ist durch eine darüberliegende Feuchtigkeitsdurchdringungsbarriere feuchtigkeitspassiviert.