| 摘要 |
<p>Die Erfindung besteht aus einem Gasdurchlass (1) mit selektiv wirkenden Gasdurchtrittsflächen (4), umfassend eine mit einer Vielzahl von Durchtrittsöffnungen (2) ausgerüsteten Trägerscheibe (3) aus einem Halbleiterwerkstoff, eine die Öffnungen (2) in der Trägerscheibe (3) abdeckende Membran (5), die die selektiv wirkenden Gasdurchtittsflächen (4) bildet, sowie Mittel zur Tem-perierung der Membran (5); zur Vereinfachung vorbekann-ter Temperiermittel wird vorgeschlagen, dass die Trä-gerscheibe (3) selbst als Mittel zur Temperierung der Membran (5) dient.</p> |
