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发明名称 Hochreines Hafnium und dessen Verwendung als Sputtertarget
摘要
申请公布号 DE69133267(D1) 申请公布日期 2003.06.26
申请号 DE1991633267 申请日期 1991.02.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 ISHIGAMI, TAKASHI;OBATA, MINORU;KAWAI, MITUO;SATOU, MICHIO;YAMANOBE, TAKASHI;MAKI, TOSHIHIRO;YAGI, NORIAKI;ANDO, SHIGERU
分类号 C22B9/22;C22B34/10;C22B34/12;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):C22B34/10 主分类号 C22B9/22
代理机构 代理人
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