摘要 |
Um bei der Herstellung magnetischer Schichten eine magnetische Anisotropie zu erzeugen, die eine Soll-Verteilung innerhalb und entlang der Schicht aufweist, wird eine Magnetanordnung vorgesehen mit mindestens drei Elektromagneten (9), deren Dipolachsen mindestens genähert parallel zur Positionierungsebene eines beschichteten scheibenförmigen Substrates liegen, und die, senkrecht zur erwähnten Positionierungsebene betrachtet, eine geschlossene Fläche (F) aufspannen.
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