发明名称 DEVICE FOR ORIENTING THE DIRECTION OF MAGNETIZATION OF MAGNETIC LAYERS
摘要 Um bei der Herstellung magnetischer Schichten eine magnetische Anisotropie zu erzeugen, die eine Soll-Verteilung innerhalb und entlang der Schicht aufweist, wird eine Magnetanordnung vorgesehen mit mindestens drei Elektromagneten (9), deren Dipolachsen mindestens genähert parallel zur Positionierungsebene eines beschichteten scheibenförmigen Substrates liegen, und die, senkrecht zur erwähnten Positionierungsebene betrachtet, eine geschlossene Fläche (F) aufspannen.
申请公布号 WO0203402(A8) 申请公布日期 2003.06.26
申请号 WO2001CH00411 申请日期 2001.07.03
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT;MAASS, WOLFRAM 发明人 MAASS, WOLFRAM
分类号 C23C14/35;H01F13/00;H01F41/14;H01F41/18;H01J37/34;(IPC1-7):H01F13/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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