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<p>Bauelement und Verfahren zu dessen HerstellungBei einem Verfahren zum Herstellen eines Bauelements (100) mit einem vorbestimmten physikalischen Parameter wird zunächst das Bauelement (100), das eine Zusatzschicht (118) zur Einstellung des Parameters aufweist, bereitgestellt. Anschließend wird die Zusatzschicht (118) gedünnt, um den vorbestimmten physikalischen Parameter des Bauelements (100) auf einen erwünschten Ziel-Wert einzustellen. Das Bauelement ist ein piezoelektrischer Schwingkreis (100), ein Widerstand, ein Kondensator oder ein induktives Bauelement.</p> |
