发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KAPAZITIVEN SENSORS
摘要
申请公布号 DE69908129(D1) 申请公布日期 2003.06.26
申请号 DE1999608129 申请日期 1999.07.07
申请人 THE GOODYEAR TIRE & RUBBER CO., AKRON 发明人 KO, WEN H.;WANG, QIANG
分类号 G01D5/241;G01L9/12;H01L21/00;H01L21/301;H03C3/00;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01D5/241
代理机构 代理人
主权项
地址