Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer sowie dessen Verwendung für den Einsatz in der Mikrolithographie in Verbindung mit ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglasrohlings. DOLLAR A Ein derartiger Quarzglasrohling soll eine geringe induzierte Absorption aufweisen und gleichzeitig hinsichtlich Kompaktierung und Dekompaktierung optimiert sein. Der erfindungsgemäße Quarzglasrohling weist folgende Eigenschaften auf: DOLLAR A eine Glasstruktur im Wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen, DOLLAR A einen H¶2¶-Gehalt im Bereich von 0,1 x 10·16· Milekülen/cm·3· bis 4,0 x 10·16· Molekülen/cm·3·, einen OH-Gehalt im Bereich von 125 Gew.-ppm bis 450 Gew.-ppm, DOLLAR A einen Gehalt an SiH-Gruppen von weniger als 5 x 10·16· Moleküle/cm·3·, DOLLAR A eine Inhomogenität im Brechungsindex DELTAn von weniger als 2 ppm und DOLLAR A eine Spannungsdoppelbrechung von weniger als 2 nm/cm. DOLLAR A Für die erfindungsgemäße Verwendung genügt der Quarzglasrohling hinsichtlich des minimalen und maximalen Wasserstoffgehalts C¶H2min¶ bzw. C¶H2max¶ sowie des OH-Gehalts C¶OH¶ den Bemessungsregeln (2), (3) und (4), wobei P für die Pulszahl und epsilon für die Energiedichte steht: DOLLAR A C¶H2min¶ [Moleküle/cm·3·] = 1 x 10·6· epsilon·2· P (2), DOLLAR A C¶H2max¶ [Moleküle/cm·3·] = 2 x 10·18· epsilon (3), DOLLAR A C¶OH¶ [Gew.-ppm] = 1700 È epsilon [mJ/cm·2·]·0,4· +- 50 (4). DOLLAR A ...