用于快速测试的半导体取送机

摘要

公开了一种带状，引线框架的，或板型的用于测试半导体部件的取送装置。该取送装置具有嵌入的电阻加热器的热板组件。这些加热器分区单独控制，用来在高温测试时为整个板提供均匀温度。板中形成有冷却通道。该板还提供混合通道，以便使用不同类型的冷却流体以不同速率冷却，或以不同水平保持低温。该冷却通道也分区配备，以提高温度均匀性。在测试中用真空通道使半导体部件与热板紧密接触。

主权项

1.一种具有热板的半导体取送系统，该系统包括：(a)上表面，其中具有多个孔；(b)内部区域，其具有：i)其中形成的真空通道，该真空通道连与孔连接；ii)嵌在内部区域的电阻加热器；以及iii)一个通道，它具有流体入口和流体出口，所述通道嵌在内部区域中。