多层膜盘片膜层分离设备

摘要

本发明为一种多层膜盘片膜层分离设备，配合以导磁材料制成的数据母版，以电磁式撕膜的方式对数据母版产生吸附力来进行此膜层分离的动作，该多层膜盘片膜层分离设备包含了几个主要的部分：用以承载数据母版的数据母版承载装置、电磁铁吸附装置与底座固定装置；为了让电磁力均匀地分布于数据母版，所以，电磁铁吸附装置可以矩阵的方式平均分布一个或多个电磁铁铁心与可产生磁力的导电线圈，这样，在撕膜时就不会有应力集中现象。

主权项

1、一种多层膜盘片膜层分离设备，用于一具数据位的盘片的复数层数据膜层的制作过程中，吸住具导磁性以及一数据膜的一数据母版(stamper)，用以在该数据膜转移到该盘片后将该数据母版与该盘片分离，其特征在于该分离设备包含：一数据母版承载装置，其包含一承载平面，用以固定并承载该数据母版的顶面；一电磁铁吸附装置，与该数据母版承载装置相连接，用以产生一垂直于该承载平面的电磁力以吸住该数据母版；以及一底座固定装置，用以承载该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，并用以推进与拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置以接近与远离该盘片。