发明名称 Displacement information detection apparatus, scale used in the apparatus, and drive apparatus using the apparatus
摘要
申请公布号 EP0727646(B1) 申请公布日期 2003.06.25
申请号 EP19960102193 申请日期 1996.02.14
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIZUKA, KOU
分类号 F02B75/02;G01B11/00;G01D5/36;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38;G01D5/347 主分类号 F02B75/02
代理机构 代理人
主权项
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