发明名称 |
微观机械装置粘接到岐管的方法和由此制造的流体控制系统 |
摘要 |
一种粘接微观机械装置(62)到基础物(64)的方法包括形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔(66)的第一粘接剂(70)的第一环步骤。第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面,其是清洁和耐腐蚀的。围绕第一环提供第二粘接剂(72)的第二环。第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面,其是气密的。 |
申请公布号 |
CN1426352A |
申请公布日期 |
2003.06.25 |
申请号 |
CN01804983.4 |
申请日期 |
2001.02.12 |
申请人 |
红木微系统公司 |
发明人 |
J·M·哈里斯;M·J·塞尔赛;W·A·韦伯 |
分类号 |
B32B31/00;F16K7/00 |
主分类号 |
B32B31/00 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
黄力行 |
主权项 |
1.一种粘接微观机械流体控制装置到基础物的方法,包括如下步骤:形成一个围绕微观机械流体控制装置和基础物之间限定的孔的第一粘接剂的第一环,第一粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第一界面,其是清洁和耐腐蚀的;围绕第一环提供第二粘接剂的第二环,第二粘接剂形成在微观机械流体控制装置和基础物之间的第二界面,其是气密的。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |