发明名称 Automatic test equipment for semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1260822(A3) 申请公布日期 2003.06.25
申请号 EP20020013298 申请日期 1998.07.22
申请人 TERADYNE, INC. 发明人 SARTSCHEV, RONALD A.;MEUTHING, GERALD F., JR.
分类号 G01R31/28;G01R31/3183;G01R31/319;H03K5/00;H03K5/13;H03L7/081;(IPC1-7):G01R31/319 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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