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发明名称 ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY FOR MICROLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP1320854(A2) 申请公布日期 2003.06.25
申请号 EP20010982375 申请日期 2001.09.28
申请人 CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, TRADING AS CARL ZEISS 发明人 ANTONI, MARTIN;SINGER, WOLFGANG;WANGLER, JOHANNES
分类号 F21V5/00;F21V7/00;F21V13/04;G02B13/18;G02B17/00;G02B17/08;G02B19/00;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/02;G21K5/04;H01L21/027;(IPC1-7):G21K5/04 主分类号 F21V5/00
代理机构 代理人
主权项
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