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发明名称 ARRANGEMENT FOR POLISHING DISK-LIKE OBJECTS
摘要
申请公布号 EP1320442(A1) 申请公布日期 2003.06.25
申请号 EP20010983462 申请日期 2001.09.04
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG 发明人 EBNER, KATRIN;GLASHAUSER, WALTER
分类号 B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B41/06
代理机构 代理人
主权项
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