| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR DETERMINING PRESSURE COMPENSATION FACTORS IN AN ION IMPLANTER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1320882(A2) |
申请公布日期 |
2003.06.25 |
| 申请号 |
EP20010969942 |
申请日期 |
2001.09.19 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
HALLING, ALFRED, MICHAEL |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
