发明名称 用于无机表面的蚀刻糊
摘要 本发明涉及呈具有非牛顿流动性能的可印刷、均相、无颗粒的蚀刻糊形式的新型蚀刻介质,其用于蚀刻无机表面,尤其是玻璃,优选二氧化硅-和四氮化三硅基玻璃以及其他二氧化硅-和四氮化三硅基体系及其各层。本发明进一步涉及所述蚀刻介质的用途。
申请公布号 CN1426381A 申请公布日期 2003.06.25
申请号 CN01808708.6 申请日期 2001.03.23
申请人 默克专利有限公司 发明人 S·克莱因;L·海德;C·杰林斯基;A·屈贝尔可;W·斯托库姆
分类号 C03C15/00;C09K13/08 主分类号 C03C15/00
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 刘金辉;林柏楠
主权项 1.一种具有非牛顿流动特性的可印刷、均相、无颗粒的蚀刻介质,其用于蚀刻无机、玻璃状或结晶表面。
地址 德国达姆施塔特