发明名称
摘要
申请公布号 JP3419208(B2) 申请公布日期 2003.06.23
申请号 JP19960194438 申请日期 1996.07.24
申请人 发明人
分类号 C30B9/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/40 主分类号 C30B9/06
代理机构 代理人
主权项
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