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发明名称
摘要
申请公布号	JP3418815(B2)	申请公布日期	2003.06.23
申请号	JP19960232119	申请日期	1996.09.02
申请人		发明人
分类号	C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04	主分类号	C23C14/04
代理机构		代理人
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