| 发明名称 |
MONORAIL SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE TRANSPORT SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002359603(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.23 |
| 申请号 |
AU20020359603 |
申请日期 |
2002.12.05 |
| 申请人 |
INTRABAY AUTOMATION, INC. |
发明人 |
PAUL, S. WHALEN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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