发明名称 MEASUREMENT OF METAL ELECTROPLATING AND SEED LAYER THICKNESS AND PROFILE
摘要
申请公布号 AU2002357225(A1) 申请公布日期 2003.06.23
申请号 AU20020357225 申请日期 2002.12.13
申请人 TIMBRE TECHNOLOGIES, INC. 发明人 XINHUI NUI;LAWRENCE LANE;NICKHIL JAKATDAR
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/00;G01R31/26 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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