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发明名称 DIFFRACTION OPTICAL DEVICE, REFRACTION OPTICAL DEVICE, ILLUMINATING OPTICAL DEVICE, EXPOSURE SYSTEM AND EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 AU2002354091(A1) 申请公布日期 2003.06.23
申请号 AU20020354091 申请日期 2002.12.04
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 OSAMU TANITSU;MITSUNORI TOYODA
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027;G02B19/00;G02B27/18;G02B5/18;G02B13/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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