基板检查装置

摘要

本发明提供一种，检查对象领域狭窄时，或相邻接时，仍可将导电性之橡胶确实挤压在各个检查对象领域之基板检查装置，系将基板之配线图型领域至少分成两处检查对象领域，而将检查用工具挤压在至少一方之检查对象领域R1，进行该基板之电气检查。构成杠杆T，其支点T2及力点T3设定在该检查对象领域R1外，作用点T1设定在上述领域内，而将上述检查用工具8、R安装在上述作用点T1，同时，以驱动构件7驱动上述力点T3，藉此将安装在作用点T1之检查用工具8、R挤压在检查对象领域R1。

主权项

1.一种基板检查装置,系将基板之配线图型领域至少分成两处检查对象领域,而将检查用工具挤压在至少一方之检查对象领域,进行该基板之电气检查,其特征在于,构成一杠杆,其支点及力点设定在该检查对象领域外,作用点设定在上述领域内,而将上述检查用工具安装在上述作用点,同时,以驱动构件驱动上述力点,藉此将安装在作用点之检查用工具挤压在检查对象领域。2.如申请专利范围第1项之基板检查装置,其特征在于,将安装在杠杆作用点之检查用工具之导电性橡胶,挤压在至少一方之检查对象领域,在其他检查对象领域则挤压多数探针。3.如申请专利范围第2项之基板检查装置,其特征在于,在导电性橡胶之周围,形成有防止因弹性变形而向横方向膨胀之防止变形构造。图式简单说明:第1图系本发明之基板检查装置之整体架构图。第2图系本发明之基板检查装置之主要部分侧面图。第3图系其他实施形态之侧面图。第4图系另一其他实施形态之侧面图。第5图系被检查基板之例子。第6图系主要部分之放大斜视图。第7图系传统之基板检查装置之主要部分侧面图。