| 主权项 |
1.一种基板搬送装置,含有:具备保持基板且可移动的第1基板保持机器手之第1基板搬送机构;第2基板搬送机构,具有第2基板保持机器手,俾在和上述第1基板保持机器手之间直接递送基板;及第1定位机构,其在上述第1基板保持机器手所保持的基板之移动路径中,系和上述第1基板搬送机构互相独立地配置,其具备定位抵接部,藉其限制基板的移动,将基板定位在上述第1基板保持机器手上的既定位置。2.如申请专利范围第1项之基板搬送装置,其中,上述第1定位机构至少含有一对销,上述定位抵接部为被设在上述一对销的侧面,如此所成者。3.如申请专利范围第1项之基板搬送装置,其中,上述第1基板搬送机构为,在上述第1基板保持机器手上,进一步包含有限制基板之相对移动的限制元件,上述第1基板搬送机构藉由移动上述第1基板保持机器手,使此一第1基板保持机器手上的基板抵接于上述定位抵接部上,进一步藉由使该基板在上述第1基板保持机器手上朝向上述限制元件相对地移动,而实施基板的定位动作将基板导引至上述第1基板保持机器手上的既定位置。4.如申请专利范围第1项之基板搬送装置,其中,在上述第1基板保持机器手上于基板定位后,自上述第1基板保持机器手对上述第2基板保持机器手递送基板。5.如申请专利范围第1项之基板搬送装置,其中,上述第2基板保持机器手系可保持基板且可移动,在上述第2基板保持机器手所保持之基板的移动路径中,进一步包含有:第2定位机构,其和上述第2基板搬送机构相互独立被配置,其具备有定位抵接部,藉其限制基板的移动,将基板定位在上述第2基板保持机器手上的既定位置。6.如申请专利范围第5项之基板搬送装置,其中,上述第2定位机构至少含有一对销,上述定位抵接部为被设在上述一对销之侧面。7.如申请专利范围第5项之基板搬送装置,其中,上述第2基板搬送机构为,在上述第2基板保持机器手上,进一步含有用以限制基板之相对移动的限制元件,上述第2基板搬送机构为藉由移动上述第2基板保持机器手,使此一第2基板保持机器手上的基板抵接于上述定位抵接部,进一步藉由使该基板在上述第2基板保持机器手上朝向上述限制元件相对地移动而实施基板的定位动作将基板定位至上述第2基板保持机器手上的既定位置。8.如申请专利范围第5项之基板搬送装置,其中,在上述第2基板保持机器手上于基板定位后,自上述第2基板保持机器手递送基板至上述第1基板保持机器手。9.如申请专利范围第5至8项中之任一项之基板搬送装置,其中,上述第1定位机构及第2定位机构为共有上述定位抵接部。10.如申请专利范围第9项之基板搬送装置,其中,在上述第1基板保持机器手和上述第2基板保持机器手之间有设定用以递送基板的基板递送位置,对此一基板递送位置在上述第1基板保持机器手侧或上述第2基板保持机器手侧之任一侧的位置上,被配置上述第1及第2定位机构共有的上述定位抵接部,上述第1基板搬送机构为,藉由自上述基板递送位置朝向上述定位抵接部移动上述第1基板保持机器手,实行基板之定位动作,将基板定位在此一第1基板保持机器手上的既定位置,上述第2基板搬送机构为,藉由自上述基板递送位置朝向上述定位抵接部移动上述第2基板保持机器手,实行基板之定位动作,将基板定位在此第2基板保持机器手上的既定位置。11.一种基板搬送装置,其含有:第1基板搬送机构,其具有可保持基板且可移动的第1基板保持机器手;及第1定位机构,其在上述第1基板保持机器手所保持的基板之移动路径中,和上述第1基板搬送机构相互被独立配置,其至少含有一对销,此一对销的侧面设有定位抵接部,藉由该定位抵接部限制基板的移动,将基板定位在上述第1基板保持机器手上的既定位置。12.如申请专利范围第11项之基板搬送装置,其中,上述第1基板搬送机构为,在上述第1基板保持机器手上,进一步含有限制基板之相对移动的限制元件,上述第1基板搬送机构为,藉由移动上述第1基板保持机器手,使此第1基板保持机器手上的基板抵接于上述定位抵接部,使该基板在上述第1基板保持机器手上朝向上述限制元件相对移动,而实行基板之定位动作以将基板导引至上述第1基板保持机器手上的既定位置。13.一种基板搬送方法,包含有如下步骤:利用在第1基板搬送机构上所设的第1基板保持机器手保持基板;一方面使保持有基板的第1基板保持机器手移动,一方面藉由和上述第1基板搬送机构相互被独立配置的定位抵接部来限制基板的移动,而将基板定位在上述第1基板保持机器手上的既定位置;及在上述定位步骤之后,自被设在上述第1基板搬送机构的第1基板保持机器手直接递送基板至被设在第2基板搬送机构的第2基板保持机器手。14.如申请专利范围第13项之基板搬送方法,其进一步包含有如下步骤:利用在上述第2基板搬送机构上所设的第2基板保持机器手保持基板;一方面使保持有基板的第2基板保持机器手移动,一方面藉由和上述第2基板搬送机构互相被独立配置的定位抵接部来限制基板的移动,将基板定位在上述第2基板保持机器手上的既定位置;及在此一定位步骤之后,自上述第2基板保持机器手递送基板至上述第1基板保持机器手。图式简单说明:图1表示本发明之一实施形态所适用的基板处理装置之配置的图解俯视图。图2表示在索引机器人和主搬送机器人之间晶圆的递送状态之扩大俯视图。图3表示定位销的近旁之构成的剖面图。图4为自图3的箭头R1方向观看之侧视图。图5A及图5B各自为表示索引机器人的机器手及主搬送机器人的机器手之构成的扩大俯视图。图6表示晶圆支持元件的构成之斜视图。 |
