| 主权项 |
1.一种以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其步骤为:a.溶解:将铟化合物、锡化合物分别溶于水中,分别使其中铟、锡离子浓度约为0.1M-5.0M;b.混合:将上述两溶液充分混合,并搅拌之;c.沈淀:加入硷液至混合溶液,调至适当之pH値,使原本澄清之溶液产生沈淀,其中硷液之浓度为1N-12N,pH値之调整范围为3-9;d.过滤、水洗:将上述溶液经减压过滤,并用纯水重新打散滤饼,如此动作重复一遍以上,形成水洗后之悬浮液;e.解胶:加入酸液至水洗后之悬浮液,调至适当之pH値,并搅拌予以解胶,其中酸液为1N-15N,pH値之调整范围为1-6,搅拌时间为2-72小时;f.乾燥:将上述解胶后之悬浮液予以乾燥,得到白色之氢氧化铟/锡(Indium Tin Hydroxide)之粉末;及g.煆烧:将白色之氢氧化铟/锡之粉末置入高温炉,经适当之升温速率、持温温度及持温时间,煆烧成黄绿色之氧化铟锡粉末(Indium Tin Oxide)粉末,其中升温速率为1-20℃/每分钟,持温温度为300-1100℃,持温时间为0.5-5小时。2.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中铟化合物、锡化合物为回收之废靶材,将废靶材溶于酸液中形成,废靶材系指经过使用后之溅镀靶。3.如申请专利范围第2项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中酸液为浓硝酸或浓盐酸或浓硝酸、浓盐酸混合液。4.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中铟化合物、锡化合物分别为将金属铟、金属锡溶于酸液中。5.如申请专利范围第4项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中酸液为硝酸,且形成硝酸铟。6.如申请专利范围第4项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中锡化合物系形成氯化锡。7.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中c步骤中硷液为为氨水或含烷基之氢氧化铵化合物。8.如申请专利范围第7项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中含烷基之氢氧化铵化合物为氢氧化1-甲基铵。9.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中c步骤中更能加入搅拌之动作。10.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中e步骤中酸液为硝酸、盐酸、醋酸、草酸或甲酸。11.如申请专利范围第1项所述之以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其中f步骤乾燥之方法为烘箱直接乾燥或利用喷雾乾燥机予以乾燥。12.一种以水溶液法制作氧化铟锡粉末之方法,其步骤为:a.溶解:将含有金属铟、金属锡之物质分别溶于水中;b.混合:将上述两溶液充分混合,并搅拌之;c.沈淀:加入硷液至混合溶液,调至适当之pH値,使原本澄清之溶液产生沈淀;d.过滤、水洗:将上述溶液经减压过滤,并用纯水重新打散滤饼,如此动作重复数遍,形成水洗后之悬浮液;e.解胶:加入酸液至水洗后之悬浮液,调至适当之pH値,并搅拌予以解胶;f.乾燥:将上述解胶后之悬浮液予以乾燥,得到白色之氢氧化铟/锡(Indium Tin Hydroxide)之粉末;g.煆烧:将白色之氢氧化铟/锡之粉末置入高温炉,经适当之升温速率、持温温度及持温时间,煆烧成黄绿色之氧化铟锡粉末(Indium Tin Oxide)粉末。图式简单说明:第一图为本发明之水溶液制程流程图。第二图为本发明之实施例五之EPMA图。第三图为本发明之实施例六之EPMA图。 |
