| 摘要 |
Устройство для мегазвуковой очистки полупроводниковых пластин, содержащее ванну для очистки пластин с вакуумным столиком для закрепления их, цилиндрический корпус форсунки с каналом для подачи воды, сопло, закрепленное на корпусе форсунки с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно ванны, пьезоэлемент с излучателем, генератор УЗ-колебаний, включающий блок питания, блок задающего генератора, усилитель мощности, отличающееся тем, что пьезоэлемент форсунки снабжен термодатчиком, электрически соединенным с генератором УЗ-колебаний, который дополнительно содержит блок контроля температуры пьезоэлемента, блок звукового сигнализатора и блок индикации мощности, при этом первый вход блока контроля температуры соединен с выходом термодатчика, а второй – с выходом блока питания, выходы блока контроля температуры подключены к входам усилителя мощности и звукового сигнализатора соответственно, один из выходов усилителя мощности подключен к входу индикатора мощности, при этом в корпусе сопла форсунки выполнена щель, параметры которой выбирают из соотношения,где δ – расстояние между торцом основания конуса сопла форсунки и торцом основания пьезоизлучателя;d – диаметр отверстия канала для подачи раствора;d– диаметр торца основания конуса,а между наружной стенкой сопла и внутренней стенкой корпуса форсунки выполнена кольцевая полость. |
