发明名称 DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE UTILISANT UN INTERFEROMETRE A DIVISION D'AMPLITUDE, ET PROCEDE METTANT EN OEUVRE CE DISPOSITIF
摘要
申请公布号 FR2817039(B1) 申请公布日期 2003.06.20
申请号 FR20000015096 申请日期 2000.11.22
申请人 NANOTEC SOLUTION 发明人 NERIN PHILIPPE;COURTEVILLE ALAIN
分类号 G01B9/02;G01J9/02;(IPC1-7):G01J9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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