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发明名称 Belichtungsmaske mit reparierter Blindstruktur
摘要
申请公布号 DE10131187(C2) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 DE20011031187 申请日期 2001.06.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FRANKE, THORSTEN;VERBEEK, MARTIN;SEMMLER, ARMIN;HAFFNER, HENNING
分类号 G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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