用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置

摘要

本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其中还包括：一X－Y二维位移调节装置；一Z轴倾角调节装置；及所述的X－Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连；本实用新型既可以调节籽晶的中心位置又可以调节其倾角，并且操作方便、可靠、省时和重复性好、设计小巧，即使在浮区单晶炉直径为φ20的狭小空间中也能正常使用。

主权项

1、一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其特征在于还包括：-一X-Y二维位移调节装置；-一Z轴倾角调节装置；及所述的X-Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X、Y、Z方位调节装置，该方位调节装置的任一端与籽晶杆相连，另一端与晶体生长设备的轴杆相连。