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发明名称 LIQUID GAS EXCHANGER
摘要
申请公布号 EP1319241(A2) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 EP20010964465 申请日期 2001.08.27
申请人 WAFERMASTERS, INCORPORATED 发明人 YOO, WOO, SIK
分类号 F25D9/00;C30B25/10;F17C13/04;F25D16/00;F28D1/06;F28F1/14;F28F9/26;F28F27/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F25D9/00
代理机构 代理人
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