使用阳极氧化的开关器件的制造方法及阳极氧化互连

摘要

本发明在形成阳极氧化膜时，使用一个形成电压输入点，该点与被阳极氧化之图样之间，具有与图样接触且围绕图样的阳极氧化互连环、及与互连环连接并设置于相对于图样之上下对称位置上的2个结合点，各结合点与图样上部连接端子及下部连接端子间各由多条引线细线群连接，图样上部连接端子及下部连接端子上的各输入点的形成电压均一。

主权项

1.一种开关器件的制造方法，其中在下部电极与上部电极之间插设一个经阳极氧化而形成的绝缘膜，所述方法包括通过阳极氧化在衬底的选定图样上形成绝缘膜的步骤，其中在形成该绝缘膜时，使用阳极氧化的互连线对要阳极氧化的图样进行阳极氧化，这些互连线将设置在形成电压的输入点和待阳极氧化的图样之间的多个结合点连接到该形成电压输入点，且将该结合点连接到图样的输入点，以便在图样的各输入点的形成电压彼此相等；和在采用阳极氧化互连线以阳极氧化图样时，在一预定时间里逐渐增加形成电流，直到形成电压达到一预定值为止，在该预定时间过去后，在保持预定形成电压的同时，进行图样的阳极氧化，从而形成电流在预定时间里沿时间轴的变化与形成电流在预定形成电压达到后沿时间轴的变化成对称。