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发明名称 Optical differential profile measurement apparatus and process
摘要
申请公布号 EP0831295(B1) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 EP19970306583 申请日期 1997.08.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LU, HUIZONG;TAHERI,ALI REZA
分类号 G01B11/06;G01B11/30;G01N21/95;(IPC1-7):G01B9/02;G01N21/88 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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